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ALDER-500PAS

ALDER-500PAS(A500PAS)是一種為了滿足各種涂層研發及中型批量量產而進行優化設計的中型ALD裝置。

概述特點及優勢

概述

ALDER-500PAS(A500PAS)是一種為了滿足各種涂層研發及中型批量量產而進行優化設計的中型ALD裝置。

特點及優勢

小量多種材料的定制設計
工藝溫度最高400℃
支持低溫plasma工藝（可選配）
自動化搬送：基板最大8inch*10pcs
工藝材料：SIO?\Al?O?\TIO?等

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ALDER-500PAS

概述

特點及優勢

小量多種材料的定制設計工藝溫度最高400℃支持低溫plasma工藝（可選配）自動化搬送：基板最大8inch*10pcs工藝材料：SIO?\Al?O?\TIO?等

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自動化搬送：基板最大8inch*10pcs
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