成立時間
投資金額
員工人數
建筑面積
ALDER-500PAS(A500PAS)是一種為了滿足各種涂層研發及中型批量量產而進行優化設計的中型ALD裝置。
A1000PC是面向于工業化大規模生產的原子層沉積系統，低溫鍍膜設計可以在各種3維基板上沉積高質量光學薄膜。
A800LS的小型化布局設計使得維護等操作在灰區進行，節省了潔凈間占地面積。相應的維護操作更簡便，消耗品使用更少，滿足工業化所需的高重復性和高可靠性鍍膜。
光馳A800TBS原子層沉積系統是專業應用于晶圓級光學領域的工業化批量式ALD，例如：光柵間隙填充，三維表面修飾，器件封裝和沉積增透減反膜。
應用于Mini/Micro LED, OLED, Power Device, VCSEL, Wafer Optics
A800DAC是滿足先進制程、擁有完整Cluster系統的原子層沉積鍍膜設備。可制備滿足功率器件、Micro-OLED、先進封裝等半導體或泛半導體市場要求的高絕緣、優阻隔、低雜質的鈍化和/或封裝等多種先進薄膜應用。
關注官方微信公眾號
Copyright ? 2023 光馳半導體技術（上海）有限公司 滬ICP備2023009503號-1 滬公網安備31011302007876
滬公網安備31011302007876