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ALDER-500PAS(A500PAS)是一種為了滿足各種涂層研發(fā)及中型批量量產(chǎn)而進行優(yōu)化設計的中型ALD裝置。
A1000PC是面向于工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)的原子層沉積系統(tǒng)，低溫鍍膜設計可以在各種3維基板上沉積高質量光學薄膜。
A800LS的小型化布局設計使得維護等操作在灰區(qū)進行，節(jié)省了潔凈間占地面積。相應的維護操作更簡便，消耗品使用更少，滿足工業(yè)化所需的高重復性和高可靠性鍍膜。
光馳A800TBS原子層沉積系統(tǒng)是專業(yè)應用于晶圓級光學領域的工業(yè)化批量式ALD，例如：光柵間隙填充，三維表面修飾，器件封裝和沉積增透減反膜。
應用于Mini/Micro LED, OLED, Power Device, VCSEL, Wafer Optics
A800DAC是滿足先進制程、擁有完整Cluster系統(tǒng)的原子層沉積鍍膜設備。可制備滿足功率器件、Micro-OLED、先進封裝等半導體或泛半導體市場要求的高絕緣、優(yōu)阻隔、低雜質的鈍化和/或封裝等多種先進薄膜應用。
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