A800DAC是滿足先進(jìn)制程、擁有完整Cluster系統(tǒng)的原子層沉積鍍膜設(shè)備。可制備滿足功率器件、Micro-OLED、先進(jìn)封裝等半導(dǎo)體或泛半導(dǎo)體市場(chǎng)要求的高絕緣、優(yōu)阻隔、低雜質(zhì)的鈍化和/或封裝等多種先進(jìn)薄膜應(yīng)用。
A800DAC是滿足先進(jìn)制程、擁有完整Cluster系統(tǒng)的原子層沉積鍍膜設(shè)備。可制備滿足功率器件、Micro-OLED、先進(jìn)封裝等半導(dǎo)體或泛半導(dǎo)體市場(chǎng)要求的高絕緣、優(yōu)阻隔、低雜質(zhì)的鈍化和/或封裝等多種先進(jìn)薄膜應(yīng)用。
在復(fù)雜結(jié)構(gòu)的優(yōu)異附著力和保形性
具備優(yōu)質(zhì)抗擊穿性能
具備優(yōu)質(zhì)防水氣侵蝕性能
全自動(dòng)化基板裝載
適用于工業(yè)4.0的先進(jìn)控制系統(tǒng)
經(jīng)國(guó)際認(rèn)證機(jī)構(gòu)認(rèn)可的ALD系統(tǒng)設(shè)計(jì)
在復(fù)雜結(jié)構(gòu)的優(yōu)異附著力和保形性
具備優(yōu)質(zhì)抗擊穿性能
具備優(yōu)質(zhì)防水氣侵蝕性能
全自動(dòng)化基板裝載
適用于工業(yè)4.0的先進(jìn)控制系統(tǒng)
經(jīng)國(guó)際認(rèn)證機(jī)構(gòu)認(rèn)可的ALD系統(tǒng)設(shè)計(jì)
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